技術文章 / ARTICLE
參考距離:5.75mm |
測量范圍:±0.75mm |
光斑直徑:Φ20μm |
測量角度:±14° |
靜態(tài)噪聲*2:120nm |
線性誤差:<±0.3μm |
橫向分辨率:5μm |
外徑*長度:φ8*47.7mm |
重量:約20g |
最小可測厚度:10% of F.S. |
溫度特征:<0.03% of F.S./℃ |
防護等級:IP40 |
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